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特徴
半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
耐酸性・耐アルカリ性に優れた硬質PVC製ですので、酸処理や他の化学薬品を使った作業に便利にご使用いただけます。
チャンバー内部の背面にはバッフル板を採用しておりますので比重の重いガスも確実に排気する事ができます。
グースネック型の給水栓はチャンバーの前面のハンドルによるリモート操作方式です。
仕様
外装・内装:PS・PD/硬質PVC(塩化ビニル樹脂)、PSH・PDH/耐熱PVC(塩化ビニル樹脂)
流し部:PS・PD/硬質PVC(塩化ビニル樹脂)、PSH・PDH/耐熱PVC(塩化ビニル樹脂)
窓:PS・PD/透明硬質PVC(塩化ビニル樹脂) 、PSH・PDH/透明耐熱PVC(塩化ビニル樹脂)
給水栓:グースネック型純水用自在水栓
照明装置:蛍光灯使用、スイッチ付き
外寸法(mm):1500×820/750×2150
内寸法(mm):1400×670×1100
<排気>
面速(m/s) 350mm開時:0.5
風量(m3/min):16
接続口(φmm):250
所用ダクト径(φmm):250
<付属設備>
給排水:2
蛍光灯(本):40W×2
重量(約kg):212
コンセント:AC100V 15Aダブル×1個付き
耐熱温度:硬質PVC(塩化ビニル樹脂)/40℃、耐熱PVC(塩化ビニル樹脂)/60℃ ※上記は目安の温度であり、使用状況により異なる場合があります。
型番:PSH-1500
※運送費・搬入費・据付費・組立費などが別途必要です。お問い合わせください。
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